作為電子廠房的裝修工程設計的先導步驟，工藝設計需要在滿足電子產品生產要求的前提下合理進行無塵室廠房的裝修工程生產設備布局，合理確定各種公用動力設施的技術參數，做到能量消耗少、運行費用低、生產效率高和建設投資少;同時，還需要合理進行人流路線、物料運輸和倉儲設施的配置和布置，滿足電子產品無塵室廠房的裝修工程生產要求和產品生產工藝要求；此外，還應該盡可能提升生產設備的自動化水平和物料運輸的自動化水平，在經濟、實用、安全可靠的條件下提高生產效率。

　　生產設備的平面布局也是電子無塵室廠房的裝修工程工藝設計的重要內容。電子無塵廠房形式一般有隧道式(或稱港灣式)、開放式、島形布置等。據調查表明，集成電路芯片制造用無塵室廠房的裝修工程一般采用隧道式和開放式，其中隧道式潔凈室主要用于5英寸、6英寸芯片制造廠，生產設備橫跨潔凈生產區和設備維護區，潔凈生產區對潔凈度要求嚴格，而設備維護區的空氣潔凈度等級相對較低。